ASML تحقق اختراقًا في تكنولوجيا تصنيع شرائح الأشعة فوق البنفسجية، وتخطط لزيادة السرعة بنسبة 50% بحلول عام 2030 – مصدر ضوء جديد بقدرة 1000 واط يطلق ثلاثة أشعة ليزر بمعدل 100000 قطرة قصدير في كل ثانية

أكدت ASML هذا الأسبوع أنها في طريقها لإصدار نظام الطباعة الحجرية فوق البنفسجية القصوى Twinscan NXE الذي يتميز بمصدر طاقة 1000 واط EUV ويمكنه معالجة ما يصل إلى 330 رقاقة في الساعة. يوفر النظام، المتوقع تشغيله في وقت ما في عام 2030 أو ما بعده، طاقة أكبر بنسبة 50% من أفضل أداة EUV الحالية، NXE:3800E. ستعمل مثل هذه الآلات على تقليل الإنتاجية بشكل كبير وخفض تكاليف كل رقاقة لمصنعي الرقائق، ولكن لجعلها ممكنة، كان على ASML تحقيق العديد من الاختراقات.

وقال مايكل بورفيس، كبير تقنيي ASML لمصدر الضوء بالأشعة فوق البنفسجية، “ما تم تحقيقه – كيلووات واحد – أمر مذهل للغاية”. رويترز. “نحن نرى طريقًا واضحًا إلى حد معقول نحو 1500 واط، ولا يوجد سبب أساسي يمنعنا من الوصول إلى 2000 واط.”

الماسحات الضوئية الحديثة بالأشعة فوق البنفسجية – بدءًا من NXE:3100 في مرحلة ما قبل الإنتاج وحتى أحدث NXE:3800D – تولد إشعاع EUV عن طريق ضرب قطرات صغيرة من القصدير بسلسلة من ثاني أكسيد الكربون₂ نبضات الليزر: يعمل النبض المسبق بمقدار 1 ميكرومتر على تسطيح القطرات، ويقوم نبض الخلخلة بحجم 1 ميكرومتر بتخلخلها، ثم يقوم النبض الرئيسي بطول 10 ميكرومتر بتحويلها إلى بلازما بالأشعة فوق البنفسجية. هذه الطريقة جيدة بما يكفي لتمكين مصدر ضوء EUV بقدرة 600 واط وحتى الوصول إلى 740 واط في المختبر. ومع ذلك، للوصول إلى مصدر بقوة 1000 واط، كان على ASML مضاعفة عدد قطرات القصدير إلى 100000 كل ثانية ثم إنتاج تسلسلين من نبضات الليزر بدلاً من واحدة، وفقًا لـ رويترز. في السابق، قدمت ASML طلب براءة اختراع لمصدر ضوء ينتج ثلاث تسلسلات نبض ليزر، وفقًا لـ Asianometry.

تركيب مولد جديد لقطرات القصدير بأداء مضاعف، بالإضافة إلى بناء ثاني أكسيد الكربون جديد₂ نظام الليزر الذي يضاعف عدد تسلسلات نبض الضوء يبدو سهلاً على الورق. ومع ذلك، فإن هذين الجهازين، وكذلك الأجهزة المصاحبة لهما لجعل عملهما ممكنًا، يمثلان طفرة تكنولوجية كبيرة.