وقعت شركة xLight، وهي شركة ناشئة مقرها الولايات المتحدة تعمل على تطوير مصدر ضوء EUV يعتمد على مسرع الجسيمات، يوم الثلاثاء على خطاب نوايا (LOI) مع وزارة التجارة الأمريكية للحصول على 150 مليون دولار من الحوافز الفيدرالية المقترحة بموجب قانون CHIPS والعلوم. ظهرت شركة xLight فجأة في وقت سابق من هذا العام عندما عينت بات جيلسنجر، الرئيس التنفيذي السابق لشركة إنتل، رئيسا تنفيذيا. سيتم استخدام الأموال، في حالة منحها، لجعل مصدر الضوء المستند إلى الليزر الحر (FEL) الخاص بـ xLight أقرب إلى الواقع بمجرد بنائه في ألباني وإثبات جدواه عمليًا.
150 مليون دولار من إدارة ترامب
وكانت إدارة ترامب متشككة بشكل خاص بشأن قانون الرقائق والعلوم الذي أقره جو بايدن، زاعمة أنه مضيعة لأموال دافعي الضرائب. ومع ذلك، يبدو أن حكومة الولايات المتحدة قد غيرت رأيها بشأن xLight، الذي يَعِد بتطوير مصدر ضوء جديد قائم على FEL لأدوات الطباعة الحجرية بالأشعة فوق البنفسجية التي من شأنها أن تحل محل مصادر البلازما التقليدية المنتجة بالليزر (LPP) المعتمدة على ليزر ثاني أكسيد الكربون. وإذا نجحت شركة xLight في بناء تقنيتها وربطها بماسحات الطباعة الحجرية الخاصة بشركة ASML، فإن الولايات المتحدة سوف تسيطر على جزء مهم من سلسلة التوريد العالمية لهذه الأدوات، وهو الأمر الذي ربما حصل على القيادة الأمريكية الحالية.
وقال بات جيلسنجر، الرئيس التنفيذي لمجلس إدارة شركة xLight والشريك العام لشركة Playground Global: “إن بناء ليزر EUV موفر للطاقة مع تحسينات بمقدار عشرة أضعاف مقارنة بتكنولوجيا اليوم سيقود العصر التالي لقانون مور، مما يؤدي إلى تسريع إنتاجية القوات المسلحة البوروندية، مع تطوير قدرة محلية مهمة”.
لاحظ أنه في صفقات مثل تلك التي تم الإعلان عنها بين xLight وUS DoC، فإن خطاب النوايا هو اتفاق غير ملزم من حيث المبدأ: فهو يشير إلى أن كلا الجانبين يعتزم المضي قدمًا، لكنه لا يلزم الحكومة بالإفراج عن الأموال أو الشركة لتلقيها، على الرغم من أنه يعني أن الحكومة قد انتهت من تقييم أولي واختارت الشركة للحصول على تمويل محتمل. سيعمل xLight الآن مع DoC الأمريكية والفرق في مجمع Albany Nanotech، لذا توقع المزيد من الإفصاحات في الأشهر المقبلة. وبالتوازي مع ذلك، ستواصل الشركة أعمال التطوير المشتركة عبر شبكة مختبرات وزارة الطاقة.
تكنولوجيا اختراق
تعمل شركة xLight على تطوير مصدر ضوء يعتمد على FEL والذي يمكن استخدامه لتوصيل إشعاع EUV متماسك مباشرةً إلى الماسحات الضوئية الموجودة على رقائق ASML. يختلف هذا النهج بشكل كبير عن مصادر الضوء المستندة إلى LPP والتي طورتها ASML (وحدة Cymer التابعة لها في الولايات المتحدة) ذات مرة لأدواتها الحجرية الحالية.
يحصل xLight على FEL قويًا عن طريق استخدام مسرع الجسيمات أولاً، والذي يعمل على تسريع الإلكترونات إلى سرعات عالية جدًا باستخدام الترددات الراديوية (RF) والمجالات المغناطيسية؛ يتم بعد ذلك تغذية هذه الجسيمات السريعة في FEL، حيث تمر الإلكترونات من المسرع عبر متموجات تخلق مجالًا مغناطيسيًا دوريًا، ونتيجة لذلك، تولد حزم ضوئية متماسكة وعالية الكثافة تتميز بأطوال موجية مطلوبة (13.5 نانومتر في حالة الأشعة فوق البنفسجية، على الرغم من أنها قابلة للتوسع إلى 2 نانومتر للأشعة السينية الناعمة). يقع FEL في منشأة منفصلة مجاورة للمصنع (أي ليس داخل غرفة الأبحاث). بمجرد توليد ضوء الأشعة فوق البنفسجية، يتم تمريره عبر شبكة من المرايا المتخصصة لمنطقة الرعي مع محطات تحويل إلى ماسحات ضوئية متعددة ASML، بما يصل إلى 20 لكل وحدة FEL. يدخل هذا الضوء بعد ذلك إلى ضوء الماسح الضوئي، حيث يتم تشكيله وتوجيهه إلى الرقاقة.
نظرًا لعدم وجود خطوة تحويل بلازما، تدعي شركة xLight أن أجهزتها تتيح سطوعًا أعلى وعرضًا طيفيًا أضيق ونبضات فيمتوثانية لنمط أكثر وضوحًا. ومع ذلك، لم تثبت الشركة بعد أمرين مهمين: أن تقنيتها تعمل بشكل عام وأنها قابلة للتطبيق في الإنتاج الضخم لأشباه الموصلات. يمكن القول إن الأخير سيكون أصعب من الأول، حيث سيتعين على xLight العثور على شركة لديها عدة أدوات Low-NA (أو أفضل High-NA) EUV مستعدة لإجراء تجارب مع الماسحات الضوئية التي تكلف حوالي 200 مليون دولار (حوالي 400 مليون دولار لـ High-NA EUV) للوحدة.
يتبع أجهزة توم على أخبار جوجل، أو أضفنا كمصدر مفضل، للحصول على آخر الأخبار والتحليلات والمراجعات في خلاصاتك.
التعليقات